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微机械加速度传感器是一种重要的惯性器件，在航空航天、汽车工业、石油探测和地震预报等领域中有着广泛的应用。电容式加速度传感器由于具有测量精度高、噪声特性好、漂移低、温度敏感性小和功耗低等优点，受到了广泛关注，是当前微硅加速度传感器的发展主流。本文提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计，用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件并完成了初步测试。该加速度计的惯性质量块由在同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑，这些悬臂梁是