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多铁性材料是同时具有铁电性、铁磁性、铁弹性中至少两种特性的多功能材料。铁酸铋(BiFeO_3)是目前少数能在室温下同时具有铁电性和反铁磁性的一种多铁性铁电材料,在研制新型的存储器、集成电路、磁传感器以及自旋电子器件等方面有着广泛的应用前景。本论文对BiFeO_3铁电薄膜材料进行深入的研究。利用磁控溅射方法(Magnetron Sputtering)制备了BiFeO_3薄膜,应用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、铁电测试仪(Precision LC unit)和振动样品磁强计(VSM)研