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热膜式气体质量流量传感器以独特的优点越来越广泛地应用于气体测量领域,然而由于工作环境或过滤器性能等原因,流量传感器内气体不可避免的含有微量亚微米颗粒物,这些颗粒物随气体在传感器中运动时,会在传感器热膜芯片上沉积,经过长时间的积累后形成灰尘堆,会影响热膜芯片上发热电阻和测温电阻的热传递,最终影响传感器的测量精度。影响热膜芯片上粒子沉积的因素很多:如芯片的安装位置、磁场力、电场力、温度场、流场和湿度等,本文主要研究温度场对热膜式流量传感器内颗粒物沉积的影响情况,分别用数值模拟和实验方法研究温度场对传感器