【摘 要】
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在将来开展黑洞探测的增强型X射线时变与偏振空间天文台(e XTP)项目中,要求制造X射线聚焦望远镜的镜片表面粗糙度Rms≤1 nm。其中,制造镜片过程中,需要在铝合金芯轴表面化学
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在将来开展黑洞探测的增强型X射线时变与偏振空间天文台(e XTP)项目中,要求制造X射线聚焦望远镜的镜片表面粗糙度Rms≤1 nm。其中,制造镜片过程中,需要在铝合金芯轴表面化学镀150μm无缺陷的非晶态镍磷合金层,才能进行超精密加工,目前化学镀镍的稳定性难以满足这一要求。因此,本文对不同稳定剂开展进一步研究,并将研究结果用于X射线聚焦镜模具的化学镀镍。论文采用酸性化学镀镍体系,首先对8种稳定剂进行实验研究,考核指标包括:1)施镀后观察杯底是否有镍磷颗粒析出;2)镀层的沉积速度;3)镀层中的磷含量10%以上,满足超精密加工的非晶态要求;4)镀层微观形貌是否均匀细致。实验筛选出了表现较为优异的S6、SQ6、硫酸高铈3种稳定剂,对其进行循环稳定性测试,结果显示用SQ6连续施镀3个周期后,镀液仍保持很好的稳定性,无镍颗粒析出,能够满足X射线聚焦镜模具的化学镀镍要求。实验发现,化学镀镍磷合金镀层表面夹杂不规则颗粒状杂质,这种镀层缺陷会直接影响其超精密加工性能。理论分析了镀液中的杂质颗粒在镀层表面的吸附行为,杂质颗粒因特性吸附镀液中的离子而带电,带电的杂质颗粒运动到镀层表面时会与镀层发生静电作用,并推导出镀层对球形颗粒的静电作用能与杂质颗粒半径的关系式。通过分析镀液中悬浮杂质颗粒沉积到镀层中的动力学过程,建立了杂质颗粒沉积的动力学方程,对杂质颗粒沉积量公式的推导结果显示,单位体积化学镀层中沉积的杂质颗粒数量,随镀液中悬浮的颗粒数量增加和尺寸减小而增多,随镀液温度升高而减少。设计了X射线聚焦镜铝合金模具前处理和高磷化学镀镍工艺,并针对大型模具,提高镀液的初始温度到95℃以上,缩短起镀时间,保证了镀层的结合强度;为了满足镀层无组织缺陷的超精密加工要求,对镀液进行精密过滤,并设计了万级洁净间。通过对镀液中杂质颗粒的理论分析,提出了有效的减少镀层沉积颗粒的方法。成功的降低了镀层中沉积颗粒的数量,提高了镀层性能。使之达到了超精密加工要求。并且利用筛选出稳定剂和设计的工艺,成功制备了一整套符合要求的X射线聚焦镜镜片。
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