【摘 要】
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该文应用加速度计基本理论及微电子技术,对硅微型扭摆式力平衡加速度计进行了全面深入地研究.主要工作包括:工作机理的研究,运动方程式的推导,结构的优化设计以及结合硅微机
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该文应用加速度计基本理论及微电子技术,对硅微型扭摆式力平衡加速度计进行了全面深入地研究.主要工作包括:工作机理的研究,运动方程式的推导,结构的优化设计以及结合硅微机械加工技术,研究了硅微型扭摆式力平衡加速度计的实现工艺.该文应用微机械元件的弹性理论和优化设计理论,设计并优化了大量程硅微型加速度计及高灵敏度硅微型加速度计两种结构,分析比较了优化前后的结构参数,总结出一些设计方法及规律.另外,该文采用RUNGE-KUTTA法对硅微型扭摆式力平衡加速度计的优化结构进行了一系列的动态特性仿真研究,提出了系统的动态行为与阻尼比、谐振角频率的关系,并提出了改进性能的补偿网络.最后,该文根据加速度计的基本测试理论,研究了重力场性能测试方法及其数据处理程序,并对硅微型扭摆式力平衡加速度计的主要误差进行了系统地分析.
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