【摘 要】
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随着大规模集成化芯片上的器件尺寸微型化,为微小尺度的各种功能器件关键参数的直接提取及建立一种在线的综合检测与分析技术变得越发需要.该论文主要针对器件关键参数的提取
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随着大规模集成化芯片上的器件尺寸微型化,为微小尺度的各种功能器件关键参数的直接提取及建立一种在线的综合检测与分析技术变得越发需要.该论文主要针对器件关键参数的提取和器件的检测分析,专门研制了一套比较完善的半导体比例差值分析系统.它能很好地完成器件参数的测量、提取和性能分析等功能.在器件参数的测量方面,该系统通过设计一套类似HP4156的半导体参数测试仪BXT2931来实现器件参数的测量.为保证BXT2931的通用性,该仪器采用了GPIB接口,而且专门为该接口开发了通用的软件接口模块.同时,针对该BXT2931测试仪开发了一套完善的软件控制平台,用于控制各种参数的测量和提取.在器件性能关键参数(例如饱和电流、饱和电压、阈值电压、载流子迁移率等)的提取以及器件性能的分析方面,该系统开发了一套半导体器件驰豫谱分析软件,专门用于MOS器件的关键参数提取以及性能分析,从而实现了器件测试、数据采集、数据保存及数据分析的自动化,实现了监测和快速数据采集、分析一体化.同时,该论文还对半导体比例差值特性进行了一定的研究,运用一种新的数据处理运算概念--比例差值算符,经过严格的理论与实验证明,揭示了元器件的另一种本征特性--比例差值特性,并且在研究的基础上对当前的比例差值算法进行了一定的简化,使之更加容易进行计算机编程处理.
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