产品微型化的观念极大的促进了微细加工技术的发展,随着社会发展对微型化产品的需求越来越大,对微细加工的效率也提出了很高的要求。微冲裁加工作为微细加工中的一种,其在微型构件的低成本大批量制造方面显示出巨大的潜力,但是微冲裁加工中的精密模具因其特征尺寸微小,硬度高等特点给加工带来很大挑战。而微细加工中的微细电火花加工以其独特的加工原理,在高硬度导电材料加工方面具有很大优势,因此特别适合微冲裁加工中模具的制作。本文基于立式微细电火花加工机床,设计了微细电火花加工控制系统,在此基础上进行微冲裁凸凹模具的制作。在进行凸模加工时,先用微细钨电极在黄铜片上加工出与凸模形状相同的通孔作为反拷贝电极,然后控制凸模毛坯在反拷贝电极上方缓慢向其进给以实现凸模的反拷贝加工。在此过程中,一方面去除材料体积大,另一方面为了获得好的加工质量而必须采用小的放电能量,因而导致加工效率低。为了提高加工效率,文中采用了超声波辅助振动工作液的方法,通过两种不同的加振方式对这一方法进行了系统性的研究。一种是通过一个金属片将超声波振动引入加工区域对反拷贝电极上方的工作液施加振动,分析研究了超声波辅助振动工作液对微细电火花加工效率的影响。实验结果表明这一方法可以有效的促进加工屑的排出,使加工效率提高约32.4%,放电间隙减小约25.3%,同时施振距离以及传振材料等对加工效率亦有显著影响。另一种是通过一振动器对反拷贝电极下方的工作液施加超声振动,将施加振动和不施加振动下的电火花反拷贝加工性能进行对比,结果表明这一方法同样可以使微细电火花加工的效率提高约32.1%,放电间隙减小约36.9%,同时电极损耗减小约21.4%。通过两种方法加工效果的综合对比,确定在后续的加工中采用振动反拷贝电极下方加工液的方法来提高加工效率。文中采用超声波辅助振动反拷贝电极底部工作液的方法,基于微细电火花三维加工技术和微细电火花反拷贝技术,进行了异形精密微冲裁模具的制作,最后对所加工模具的尺寸误差进行统计和分析。结果表明,基于微细电火花加工技术,采用合理的加工工艺可以制作出尺寸精确表面质量良好的精密微冲裁模具。