【摘 要】
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该文在发展无机材料的超声喷雾热解技术、研究其生长机理、微结构和某些功能性质.通过对大量文献的调研及对工艺过程的探讨,取得了一些有意义的结果,补充完善了纳米薄膜的超
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该文在发展无机材料的超声喷雾热解技术、研究其生长机理、微结构和某些功能性质.通过对大量文献的调研及对工艺过程的探讨,取得了一些有意义的结果,补充完善了纳米薄膜的超声喷雾热解技术.综述了纳米薄膜科学和技术及超声喷雾热解技术的新进展,介绍了纳米薄膜制备方法、人工结构以及新效应、新性能等最新研究结果,阐明了纳米薄膜的性能和它的微结构密切相关,提出了完善和发掘新的纳米薄膜制备工艺、合成新的人工新结构的必要性和重大意义.高结晶度且具有(200)取向生长的氧化镍(Bunsenite,cubic)纳米薄膜被采用超声喷雾热解法沉积在Si(111)上(雾化器工作频率为2.5MHz).采用简单的超声喷雾热解改装装置在Si(111)衬底上制备了α-Fe<,2>O<3>(赤铁矿)纳米薄膜.以相应的乙酰丙酮盐,M(acac)<,x>的乙醇--水混合液为前驱液,制备了稀土氧化物的纳米薄膜.采用首创的异步脉冲超声喷雾热解技术,成功地制备了铋、铜硫化物半导体纳米薄膜.
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