射频磁控反应溅射沉积AlN薄膜

来源 :大连理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xxxxkeat
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
射频磁控反应溅射法制膜性能优良,膜结构致密,可以达到较高的纯度,并且成膜温度低.作者用此法在普通钢、不锈钢、硅片等不同衬底上沉积AlN薄膜,并多次改变各种参数,以研究各参数对薄膜沉积的影响.同时,进行了多方面的测试,包括沉积速率、红外吸收谱、击穿场强以及X射线衍射等等.得出了用此法镀AlN薄膜的一些规律.测试结果表明,在衬底上确实出现了高纯度的AlN薄膜,并且其性质与成块AlN很接近,具有很多优越的性能.
其他文献
在中央纪委第七次全体会议上,中共中央总书记江泽民对领导干部提出要求:要牢固树立正确的权力观。他讲到,干部队伍建设的基础是教育。只有通过全面的经常的教育,真正打牢思想政治
该文介绍了一种与近自由电子模型相适应的分子振动模型.它是一种唯象的连续模型.近自由电子模型认为C分子的价电子可以看作是在一个球壳型的赝势势阱中运动的近自由电子.这种
纳米机械振子是纳米尺度的机械系统,相对于传统的机械系统,纳米机械系统通常具有超高的品质因子、超高的振动频率,超轻的质量,超高的灵敏度等优越的性质。此外,基于它的众多优点,纳
低维纳米结构材料因其高的表面体积比和量子尺寸效应,在光、电、磁、热等方面具有独特的性质,因此也备受人们的关注。其中,硫属铋系纳米结构材料更以其窄带隙、易合成和低毒的特
中国共产党作为执政党,只有解决好“着眼于人民群众”这个重大政治课题,才能始终保持党同人民群众的血肉联系,也才能领导人民胜利完成建设有中国特色社会主义的伟大事业。 A
结肠癌是消化道常见的恶性肿瘤之一,在全球癌症发病率中占第三位。结肠癌的早发现、早治疗对于降低其发病率和死亡率具有重要意义。外周循环血液被认为包含有癌细胞释放的肿瘤
该文研究一种新的相干辐射光源--原子聚束反冲激光(Collective Atomic Recoil Laser,简写为CARL),它综合了FEL和普通激光的特性,既考虑原子的宏观动能又兼顾原子内部能级
人教版教材中有不少历史题材的课文,如《长征》《再见了,亲人》《狼牙山五壮士》《将相和》《草船借箭》等等。这类题材的课文,有着特殊的时代背景、典型的人物形象、鲜明的情感
近年来,氢键团簇的研究得到了飞速的发展,特别是针对有机小分子的研究对于深刻理解凝聚态化学反应具有很重要的意义。另外氢键团簇的研究是研究团簇科学中的一个重要方向,通过对