近场光学显微系统设计及基于剪切力方法测控距离的研究

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近场光学是20世纪末新兴的一门交叉学科,是光学的一个崭新领域。本课题主要完成了近场光学显微系统的设计与实现,并用石英音叉作为传感器测量探针振动变化,从而控制压电陶瓷伸缩使探针逼近样品表面的近场,实现了基于剪切力方法的纳米级距离控制。提出了将光纤探针插入石英音叉两臂中央随之共振的方法,比传统粘贴法具有易更换性。本文还通过实验,确定了石英音叉与光纤探针固定的最优相对位置,使品质因数相对较大。并用实验数据验证剪切力测控距离法的可行性。
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