【摘 要】
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本文结合一种平面3-RRR并联微动工作台的研制，对其运动学、机构优化和精度问题进行了全面的研究。微动台采用免装配、无间隙和无摩擦的柔性铰链代替实际的转动副并且依靠压电陶瓷驱动器驱动，实现了工作台x向和y向的微米级位移以及在x—y平面内的微小转动。论文提出了并联微动台伪刚体模型位姿反解、正解的方法，并进一步推导了微动条件下的线性运动学模型：常量雅各比矩阵法和铰链位移法，通过不同方法的比较得到了近似模
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本文结合一种平面3-RRR并联微动工作台的研制，对其运动学、机构优化和精度问题进行了全面的研究。微动台采用免装配、无间隙和无摩擦的柔性铰链代替实际的转动副并且依靠压电陶瓷驱动器驱动，实现了工作台x向和y向的微米级位移以及在x—y平面内的微小转动。论文提出了并联微动台伪刚体模型位姿反解、正解的方法，并进一步推导了微动条件下的线性运动学模型：常量雅各比矩阵法和铰链位移法，通过不同方法的比较得到了近似模型的理论精度。另外讨论了机构的各向同性指标以及利用Matlab软件对理论工作空间
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