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介绍了几何相位分析(geometric phase analysis，GPA)的基本算法，并用Digitalmicrogragh中的Script语言实现了此算法。基于高分辨像的傅里叶变换，选择傅里叶变换点分辨率以内的某强衍射，做反傅里叶变换得到晶格条纹的相对相位分布。选择非线性相关的两个强衍射，分别得到各自的相位，进一步计算可以得到平面应变的分布。
用GPA研究了AlSb/GaAs异质外延薄膜的应变分布。根据Bragg滤波条纹像，确认了60°和90°失配位错的存在，对位错核心区域的应变分布差异做了分析。发现由于存在原子台阶，形成90°Lomer全位错的两60°位错可能钉扎在不同的原子面。在异质界面处形成了大量失配位错，有效地释放了失配应力，所以生长在GaAs上的AlSb外延层接近完全驰豫。
用GPA研究了La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)/Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)/La0.7Sr0.3MnO3/SrTiO3(STO)铁电薄膜异质结中的刃型失配位错(MDs)和Ba0.7Sr0.3TiO3/La0.7Sr0.3MnO3/LaAlO3(LAO)铁电薄膜异质结中的刃型穿透位错(TDs)。HRTEM像及其Bragg滤波表明，[101]刃型MDs分解为两1/2[101]型不全位错。[100]刃型MDs由{101}滑移面上的1/2[101]和1/2[101]两不全位错滑移相遇反应生成，因存在原子台阶，两不全位错可能被钉扎在不同的原子面。[110]刃型TDs易于分解为两1/2[110]不全位错。用GPA方法得到了三种不同类型位错的周围应变场分布。