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作为一种新兴能源载体，太阳能电池以其优秀的环保性、高效率、取之不尽等诸多优点，在军事、航天、航空等领域及民用方面得到广泛应用，其中多晶硅薄膜太阳能电池以其优越的性能成为这个领域中值得期待的发展方向。激光晶化非晶硅薄膜是制备多晶硅薄膜的重要方法。激光辐照后产生纳米晶化相的结构和数量对其性能具有决定性作用，因此，需要研究晶化相的微观组织结构与激光工艺参数之间的关系，为激光晶化法制备纳米微晶硅打下理论基础。本文以石英为衬底，采用以射频磁控溅射系统制备的非晶硅薄膜为前驱物，利用激光晶化技术实