目前很多工业产品的清洗密度要求高、盲孔多、清洗难度大,普通清洗方法很难奏效,超声清洗则可以很好的解决这些难题。超声波清洗所用的压电式换能器必须工作在谐振状态下才能达到最大效率,目前常用的并联谐振设计虽然保证了谐振频率却降低了输出功率,达不到最大的效率,而目前常用的全桥逆变结构虽然输出功率大,但稳定性差,桥间易失衡,针对以上这些问题的研究,本文取得以下结果:1.研制了串联匹配电感电路,并采用串联匹配方式与换能器匹配,实现了换能器稳定工作在谐振频率上。2.通过理论分析,确定主功率电路中应采用半桥逆变拓扑结构,研制了相关电路包括:整流滤波电路、功率匹配电路、信号驱动电路,这些电路保证了功率输出满足清洗要求。3.设计了散热、延时保护、过流保护、缓冲保护、过热保护电路和装置,实现了发生器长时间稳定工作制作电路PCB并组装样机后,经过测试样机的规格如下:输入220V 50Hz,输出578±20V 22kHz,瞬时功率最大值为4.16±0.1kw,样机经测试能连续工作5000小时以上。经实际使用后,对工件能达到较好的清洗效果。