随着各种镀膜技术以及基片抛光技术的发展,反射率超过99.95%的激光膜片已广泛使用,与此同时,以多次反射法为代表的传统反射率检测方法已无法满足极高反射率的测量要求,因此,精确测量高反镜的反射率变得尤其重要。上世纪八十年代,人们为了准确测量高反射镜片的反射率,逐渐提出了光腔衰荡技术。从国内外研究现状来看,光腔衰荡技术被认为是测量高反率最有效的方法,光腔衰荡光谱法,由于其检测限低、测量精度高、可靠性好的特点,已成为了微量物质检测的标准方法之一。本文介绍了各类反射率的测量方法,以测量精度作为评价标准论述分析了各自的优缺点。重点介绍了光腔衰荡光谱技术的发展和应用,详细说明了光腔衰荡技术测量镜片反射率的实验原理,系统地分析了实验误差的影响因素,并根据光腔衰荡光谱技术原理,建立了一套测镜片反射率的装置。采用激光二极管作光源,分别使用直腔和折叠腔对镜片在波长为635nm处的反射率进行了测量,实验测得直腔镜的反射率为(99.959±0.001)%,折叠腔待测镜片的反射率为(99.917±0.003)%。通过对实验结果的误差分析,表明该装置测量重复性较好。通过误差分析,得出测量的平均相对偏差为10-5,实验表明该装置结构简单、操作方便,完全满足高反射率镜片反射率测量的需要。