随着半导体材料科学和电子信息技术的飞速发展,高速大规模集成电路的集成度和工作速度得到了不断的增加。作为高速集成电路系统中信号互连线的多导体传输线,其时域响应分析成了保证高速电子信息系统正常工作的必需环节。而为了对互连和封装结构进行时域响应分析,首先必须对其进行电磁建模和参数提取,这在现代电子系统的设计中扮演了重要的角色,是一系列后继工作的基础。本论文所涉及的研究课题即是高速集成电路中互连传输线的电磁建模和参数提取,及其研究方法。研究方法从精度和速度两方面考虑,为适合EDA/CAD设计使用,更侧重速度研究。主要研究工作如下:采用时域有限差分(FDTD)法对高速集成电路中互连结构的参数进行了提取,结合降维方法、渐变非均匀网格划分技术、交变隐式差分方向(ADI)技术和信号拟合预测技术,可以极大地缩减FDTD法庞大的计算量,提高电磁仿真的效率。针对有耗多导体衰减常数难以精确提取的问题,将一种新的改进降维方法应用到有耗互连线系统分析中,可以计算得到衰减常数的准确值。应用以上方法对共面波导(CPW)传输线结构进行了高速高精度的电磁仿真和传输特性的分析。对以上所有的研究内容,均编写了相应的Fortran程序,在程序设计上开展了一定的工作。