大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究

来源 :中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) | 被引量 : 7次 | 上传用户：dingdang19822003

【摘要】

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

【作者】

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糜小涛

【出处】

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中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所)

【发表日期】

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2018年01期

【关键词】

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衍射光栅光栅刻划机微定位系统控制器设计刻线误差测量系统余弦误差阿贝误差大气折射率衍射波前基底面形误差镀膜均匀性

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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