论文部分内容阅读
本论文以SmBiO3和YBiO3为代表,在钇稳定氧化锆(YSZ)或铝酸镧(LAO)基底上研究探索了REBiO3缓冲层薄膜化学溶液沉积(CSD)的快速制备工艺,并对其外延生长机理进行了初步探讨。本论文根据固态分解原理,将挥发、分解过程分离,提出并验证了三步加热处理法的工艺方案；并进一步将单独的分解处理工艺减去,使分解过程在外延处理工艺中完成,提出并验证了两步加热处理法的工艺方案,将REBiO3缓冲层薄膜的CSD法制备的挥发、分解和外延成相总工艺时间缩短到2h以内。研究结果表明,硝酸盐有机溶液前