硬质合金上MPCVD法沉积金石薄膜的研究

来源 :武汉理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhihu2

【摘要】

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该文详细介绍了自行研制的2450MHz/5KW带有石英玻璃窗、水冷却不锈钢腔体微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置.论述了包括微波系统、气路系统、真空系统、检测系统和保障系

【作者】

：

周健

【机构】

：

武汉理工大学

【出处】

：

武汉理工大学

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

MPCVD 金刚石薄膜硬质合金附着力

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该文详细介绍了自行研制的2450MHz/5KW带有石英玻璃窗、水冷却不锈钢腔体微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置.论述了包括微波系统、气路系统、真空系统、检测系统和保障系统等各部分的结构组成及基本功能.系统地讨论了硬质合金上MPCVD沉积金刚石薄膜质量的影响.确立了最佳的实验工艺参数.该研究中,用自行研制的微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置对在硬质合金基体上金刚石的涂层进行了研究.

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