随着激光技术在加工制造业中的广泛应用,人们对微细加工的精度和效率的要求也越来越高。飞秒激光加工技术具有真三维、超分辨、热影响小、加工材料广泛等独特的优势,成为加工领域的前沿技术。为了实现高质量、高精度、高速度的微纳加工,本研究改进了原有的飞秒激光加工系统,增加了自动对焦光路,并行加工光路,并利用LabVIEW软件编写了整个系统的控制程序。本课题来源于国家自然科学基金重点项目(51275502),主要研究内容如下：将共焦显微技术引入到加工系统中,设计了飞秒激光加工自动对焦光路,分析了搭建的共焦显微系统的成像分辨率,采用仿真三维点扩散函数曲线的方法,得到激光能量阂值下的自动对焦精度为0.05μm。将空间光调制技术引入到加工系统中,搭建了一套全息并行加工系统。根据目标光场,设计相应的计算全息图,并将其加载到空间光调制器上实现对飞秒激光光束的灵活调制,可以得到具有较高清晰度的图案式加工结果。最后利用图形化软件LabVIEW编写了改进系统的控制程序。根据目标光场分布,采用G-S算法,利用MATLAB生成加工过程中所需要的计算全息图；通过对共焦显微镜、光闸和三维扫描台的控制,完成了光路的自动对焦；利用LabVIEW调用计算全息图,将其加载到空间光调制器上实现图案式加工；改变入射激光的波长,控制三维扫描台对加工区域搜索,利用共焦显微系统的光电倍增管可以读出样品的内部信息。本文改进的加工系统,实现了飞秒激光的自动对焦,全息并行加工,并利用LabVIEW将飞秒激光加工过程的各个环节进行了有效整合,可以应用到微纳加工领域,为高效率、高精度的激光加工技术的快速发展提供了一种有效的方法。