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溅射在PMMA基片上的金薄膜缺陷产生机理

来源 :大连理工大学 | 被引量 : 3次 | 上传用户：tb881011

【作 者】

：

何柳丰 

【出 处】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2018年01期

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