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类金刚石（DLC）膜由于具有高硬度、低摩擦系数、耐磨性能好、热传导率高等一系列优越的综合性能，近年来引起了科学界的极大兴趣，特别是在钢上镀DLC膜，具有更大的现实与潜在的价值。可应用在诸如钻头、轴承、模具、医疗器械等领域。其中，薄膜与基底的结合力是DLC膜应用的先决条件。当膜层厚度大于1μm时，首先要解决的是膜和基底的附着力问题。DLC膜的制备方法已有许多种，包括物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）两大类。尽管有许多沉积DLC膜的方法，但是不同方法制备的DLC膜的性能不同。脉冲真空电弧离子镀是目前国内外受到高度重视的新型镀膜方法，研究表明它具有设备简单、绕射性好、沉积速率高、沉积面积大、镀层性能稳定的优点。
本文采用磁过滤电弧离子镀和脉冲电弧离子镀两种技术，在不锈钢基底上分别交替镀制TiC和DLC多层混合薄膜，经过反复试验，积累试验数据，并对数据进行优化，找出最佳工艺参数。本研究利用扫描电镜观察TiC和TiC/DLC多层膜表面形貌，发现薄膜表面较均匀。利用XRD分析TiC膜结构，发现使用本试验方法所沉积的TiC膜主要表现在（111）和（220）面的择优取向，并且得到了不同工艺参数对薄膜结构的影响。利用EDX能谱分析TiC膜的成分，得到C/Ti的原子含量比接近1。采用轮廓仪测量TiC膜的粗糙度，其值在7～13nm之间，表面比较光滑。利用XPS分析DLC薄膜中sp3键及sp2键含量，其中sp3键含量79．18%。采用402MVDTV数显显微维氏硬度计测试了薄膜的硬度，得到薄膜本征硬度均大于2000HV的TiC膜和大于3000HV的TiC/DLC多层膜。采用XGY-03摩擦磨损仪测试薄膜的摩擦系数，得到摩擦系数为0．02的TiC/DLC多层膜。用划痕仪测试了膜基底的结合强度，得到结合力较强的TiC/DLC多层膜。用基片曲率法测量薄膜应力，证实了DLC膜的高应力能够在TiC膜中得到很好的释放，从而得到较厚的TiC/DLC多层薄膜，其应力值较小为-0．4795Gpa。结果表明，利用磁过滤电弧离子镀和脉冲电弧离子镀两种技术镀制的TiC/DLC多层类金刚石薄膜具有良好的稳定性和机械特性。