近几年来显示技术发展迅速，尤其是基于MEMS技术研制成的DMD，GLV等空间光调制器件应用于显示投影装置中后，收到了传统显示方法无法企及的效果。在此基础上，本文设计了一种基于MEMS技术和F-P干涉原理的微F-P空间光调制器件，并首先提出将该器件作为激光显示的空间光调制器件，设计出投影显示应用方案，为现代投影显示提供了一种全新的思路。 目前对光学MEMS研究大多集中于构造硅基板采用常规半导体工艺的可调谐器件。由于硅的透过特性，器件往往只能工作在红外波段，这就大大限制了器件在可见光波段的应用，而位于可见光波段的图像显示又是光学应用中最重要的一块。本文也是针对这一情况提出了器件结构方案。 在器件制造工艺方面，本文讨论了三种不同的工艺流程，并对各个工艺流程的优缺点作了比较。参考以往文献中的实验结果数据，分析了该器件的工艺可行性，并比较了器件性能及工艺的优缺点。