椭圆偏振测量法是一种高精度、非接触的现代检测技术，在薄膜参数及其特性的测量方面有着广泛的应用。对于那些可以透过毫米波但不透光的介质薄膜而言，由于无法使用光学椭偏法测量其薄膜参数，故研究一种新型的毫米波椭偏测量法及其系统就具有十分重要的意义。本文对毫米波椭偏法进行了全面的理论分析和数值模拟，建立了相应的实验测量系统，并对薄膜样品进行了实验测量研究，主要研究内容及成果如下： 首先，研究了毫米波椭偏法的测量原理、实验装置以及数值反演算法。其次，重点分析了装置误差对测量结果的影响，结果表明，在所有的装置误差中，入射角和方位角的影响最大，会导致测量结果产生较大的误差，故在测量之前须仔细调整入射角和方位角。同时，对薄膜参数和椭偏参数之间的关系进行了详细的数值模拟研究，结果表明，薄膜参数在反演过程中存在多值性问题，但对于介电常数在2.1～10范围内，厚度小于2mm的介质薄膜而言，可以反演出唯一确定的准确值。接着，对椭偏测量的实验条件进行了讨论与分析，为了保证实验测量的准确性，待测样品的尺寸至少为41cm×41cm，而入射角的最佳取值为55°。最后，搭建了实验测量平台，对薄膜样晶进行测量，编写数据处理程序，求解出样品的介电常数和厚度。由于受到样品尺寸和材料的限制，测量结果仍存在一定的误差。 本文关于毫米波椭圆偏振测量法的研究在国内未见相关报导。作者在实验装置的误差影响、薄膜参数的多值性问题和椭偏测量的实验条件等方面获得了一些极有价值的结果，这为毫米波椭偏测量法的进一步研究提供了重要的参考依据。