红外探测器是红外技术的心脏，军事的需要极大地推动了它的发展。热电堆红外探测器作为一种非致冷的热红外探测器，具有较多的优势，应用广泛。在20世纪80年代微电于机械系统(MEMS)发展起来之后，对微机械的热电堆红外探测器的研究一直没有间断，但是其实用化的进程缓慢，关键原因在于制作工艺存在难度，没有能够妥善解决。本论文以微机械热电堆红外探测器为研究对象，从理论与工艺两方面进行了探索。理论上，在稳态热传导泊松方程等基础上，以悬臂梁结构与封闭膜结构为切入点，建立了探测器中结构与性能的联系；另外，系统地阐述了薄膜、吸收区、热偶以及封装等因素对探测器性能的影响，从中发现了一些性能优化的条件，包括热偶宽度、热偶厚度、热偶对数以及以及吸收区大小等等。在悬臂梁结构探测器的制备过程中，尝试了新的正面腐蚀的工艺并提出了新的斜拉悬梁结构的探测器。实验结果显示利用该新工艺是可行的，但其中尚存在腐蚀时间较长的问题；针对工艺过程中出现的薄膜应力、台阶覆盖以及表面张力的影响，论文中提出了一些改进方案并实施。在封闭膜结构的阵列器件的制备中，验证了现行工艺的一致性，获得了结构完整的一维与两维的阵列器件。实验中通过钼舟蒸发与电镀镍的工艺用以改善封装中存在的问题，取得了较为满意的效果，尤其是电镀镍自对准工艺具有较大的发展潜力。针对金作为热偶条出现的欧姆接触、台阶覆盖以及在封装上出现的问题，论文中在解决了铝的腐蚀防护的难题后，制作了Al/PolySi热偶基的单元封闭膜结构的探测器，有效地解决了上述困难；实验中同时改进了介质膜的组成，也取得了良好效果。论文中自行搭建了一套针对微机械热电堆红外探测器的测试系统，用直接测量与对比测量的方法对获得的Al/PpolySi热偶基单元探测器做了测试。测试的结果是：阻抗200KΩ，未加红外吸收层时，探测器的响应时间T为10-20ms，响应率Rv为15V／W，探测率D*为 4． O× 107cmHz1／2W-1，优于文献报道值；添加黑漆红外吸收层后，Rv与D*都可以增加几倍，同时τ也大幅增加。