基于硅基反铁电厚膜场致应变效应的微驱动构件结构设计与制造

被引量 : 7次 | 上传用户：acb13202

【摘要】

：

利用反铁电材料电场诱导反铁电一铁电(AFE-FE)相变的快速开关特性和大场致应变效应，实现反铁电功能材料与MEMS技术的集成，给快速响应、大行程微执行器的设计开发带来新的思路。木文采用溶胶一凝胶(Sol-gel土艺技术，在Si/Si02/Ti/Pt < 111)衬底上控制生长厚度约为Sum的(Pb,La)(Zr,Ti)03 (PLZT)反铁电厚膜。建立硅基底和PLZT双层梁结构简化理论模型，以材料

【作者】

：

赵振宇

【机构】

：

中北大学

【发表日期】

：

2011年05期

【关键词】

：

(Pb La)（Zr Ti）O3反铁电厚膜微执行器 MEMS微加土土艺多普勒测振

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

宇宙高速公路

宇宙中的高速公路rn在科幻小说中,有这样的描述:外星人为了修建宇宙高速公路,决定摧毁地球这一阻挡工程进展的障碍物.虽然这只是一个令读者扑哧一笑的虚构情节,但是在几年前,

期刊

宇宙高速公路科幻小说工程进展障碍物银河系科学家描述漫游读者地球

基于MSP430单片机的微区薄层电阻测试技术研究

当今科学技术高速发展，世界范围内对半导体产品的需求持续上扬，半导体芯片生产商投入了大量资金以跟上半导体市场的发展步伐。半导体工业的进步以及对制造微型芯片最为关键的薄

学位

MSP430单片机薄硅晶片晶体微区薄层电阻率测试恒流源电路

整体叶盘参数化造型及六面体网格生成方法研究

本文介绍了整体叶盘的结构特点,整体叶盘是航空发动机中高速转动的关键件,与传统的榫头榫槽型结构相比,整体叶盘具有重量轻、结构简单、零件数目少、可靠性高等特点。其几何

学位

整体叶盘Open CASCADE参数化设计六面体网格扫掠法

超声速气流中煤油喷雾混合特性的数值及实验研究

本文以超声速气流中液体横向射流的混合特性为主要研究对象,采用两相大涡模拟数值方法及实验研究手段,对平板液体射流及带凹腔的煤油射流混合特性进行了研究。基于Euler-Lagr

学位

超声速两相流横向射流混合凹腔大涡模拟

激波诱导边界层分离的研究

激波与边界层相互作用在高速飞行中无所不在，通常发生在飞机、导弹和火箭的内、外流场，激波诱导的边界层分离常带来如流道雍塞等诸多棘手问题，是当今热点研究课题之一。本文针对

学位

激波/边界层相互作用边界层分离数值模拟进气道

基于低相干法的光纤应变测量技术及其应用研究

目前,桥梁、大坝、天然气管道、风力发电场等大型设施安全问题不断出现,急需发展能有效地对这些设施的结构安全进行监测的技术,其中,设施应变的实时监测是结构健康监测的目标

学位

光学低相干应变测量测控系统LabVIEW信号处理

宽高比对二元高超声速进气道性能的影响研究

本文采用NAPA软件分别对等迎风面积和等迎风高度条件下,隔离段宽高比ARi为1.0、3.0、6.0和9.0的二元高超声速进气道在设计马赫数M6.0和非设计马赫数下的三维流场进行数值模拟

学位

宽高比隔离段二元高超声速进气道反压特性数值模拟

IEC标准中谐波与间谐波的检测与分析

电能质量在人们的生活中扮演着非常重要的角色。它关系到电力系统及其电气设备的安全与效率,关系到节能降耗,关系到生产和生活以及国民经济的整体效益。谐波与间谐波作为表征电能质量问题的重要指标,随着近年来各种非线性电力电子器件在电力系统中的广泛使用,它对电网造成的危害日益严重,对电能质量的影响也日益突出。对谐波与间谐波的治理刻不容缓。高精度的检测分析是电网谐波与间谐波治理的前提条件。论文针对国际标准IEC

学位

电磁兼容IEC标准谐波间谐波傅里叶变换小波变换最小二乘法经验模态分解

气象观测站探测环境测评系统的研究与实现

目前气象观测站探测环境测评工作仍采用人工的方法来完成,这种传统的测评方法往往需要耗费大量的人力物力,并且测评结果加入了很多人为的主观因素,导致测评结果不客观。针对

学位

气象观测站探测环境测评系统全景图像像素点坐标

超声速来流中高压射流与脉冲射流喷注雾化特性研究

本文结合实验观测与仿真模拟,研究了马赫数2.1的超声速来流中液体横向高压射流和脉冲射流的喷注雾化特性。分析了脉冲频率、喷注压降、喷孔直径等因素对横向射流喷注以及液滴

学位

超声速气流高压射流脉冲射流实验研究DPM模型动态特征穿透深度

基于硅基反铁电厚膜场致应变效应的微驱动构件结构设计与制造

与本文相关的学术论文