【摘 要】
：
氧化铪(HfO2)是一种性能优异的光电薄膜材料,它具有较高的硬度、良好的热稳定性以及较高的介电常数,在半导体行业被视为替代SiO2的理想材料。特别是作为光学材料,HfO2薄膜具有宽的带隙、较高的折射率、较大的硬度和抗激光损伤阈值以及在近紫外到红外波段具有良好的透过性能,成为目前制备高激光损伤阈值光学薄膜的优异材料而备受关注。本文用直流磁控溅射法在硅衬底和石英衬底上制备了HfO2薄膜,并研究了制备工
论文部分内容阅读
氧化铪(HfO2)是一种性能优异的光电薄膜材料,它具有较高的硬度、良好的热稳定性以及较高的介电常数,在半导体行业被视为替代SiO2的理想材料。特别是作为光学材料,HfO2薄膜具有宽的带隙、较高的折射率、较大的硬度和抗激光损伤阈值以及在近紫外到红外波段具有良好的透过性能,成为目前制备高激光损伤阈值光学薄膜的优异材料而备受关注。本文用直流磁控溅射法在硅衬底和石英衬底上制备了HfO2薄膜,并研究了制备工艺如衬底温度、溅射气压和氧氩比对其结构、沉积速率、成分、光学特性的影响。主要研究内容和结果如
其他文献
随着我国采矿、水利和交通等基础设施的大规模建设,发生滑坡的现象越来越多,形成滑坡的过程也各不相同,其中古交市风峁顶挤推-反弹-挤推式滑坡就是极具代表性的一个。风峁顶坡体起初沿主滑方向滑移,后来滑移量逐渐减小,目前又沿主滑反方向滑移,且滑移量逐渐增大。因此,对该滑坡的形成机理及稳定性进行研究十分必要。本论文在对国内外滑坡及其稳定性研究成果进行综述的基础上,针对古交市风峁顶挤推-反弹-挤推式滑坡展开了
论文采用两种典型技术—多弧离子镀和磁过滤阴极弧离子镀技术制备出不同成分、结构和性能的TiN薄膜。借助X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、辉光放电光谱仪(GDOES)对薄膜的结构和成分进行了表征。用HH-3000自动划痕试验机、LecoM-400-H1型显微硬度计和HT-2001型球-盘磨损实验机等测试了薄膜的机械性能和耐磨性,PS-168型电化学测试系统评价了基体与薄膜的耐腐蚀性能
潜艇低速航行时,潜艇主辅机的振动是主要的噪声源,其振动通过隔振系统传递到艇体。由于包含隔振系统的实际潜艇结构的复杂性,常规的有限元分析和实验测试成本高、周期长,并且难以在初步设计阶段应用,因此希望建立一种简单有效的方法估算包含隔振系统的带基座圆柱壳体的振动特性。围绕这个目的,本文完成了以下几个方面的工作:1、推导了基于Rayleigh-Ritz原理的高阶平板壳单元和基于有限条法的平板壳单元,比较了
硬质合金具有高的硬度、耐磨性、热硬性、耐蚀性、抗氧化性等特点,其广泛应用于现代的工具材料、耐磨材料、耐腐蚀耐高温材料等领域。然而,硬质合金的生产需要消耗大量的钨、钴、钛、镍等重要的战略资源。结构陶瓷在高温下具有高强度、高硬度、耐磨损、耐腐蚀、抗氧化、蠕变小等特点且其来源广泛,使其最有希望发展成为处于资源困境的硬质合金的替代材料。然而,结构陶瓷的最大缺点是塑性变形能力差,韧性低,不易成型加工。因此,
碳纤维等各种碳材料可广泛应用于各领域,是近年来的研究热点。而腐植酸HA(humic acid)是储量丰富,具较大比表面积的优秀天然碳源,探索HA在碳材料方面的开发应用具有现实的意义和光明前景。我们将HA通过层层自组装的方法将其涂膜于氧化铝纤维,之后将膜及纤维基体一起碳化。探讨了Fe3+浓度、涂膜层数对膜的厚度的影响,采用了FTIR、FESEM、EDX以及ICP-EDX对涂膜产物进行了分析。分析结果
脉冲管制冷机由于其冷端无移动部件,能够提供比传统低温制冷机更高的可靠性、低电磁干扰、振动小等优点,在超导磁体冷却,低温泵,空间,医疗等领域,G-M型脉冲管制冷机已经获得了广泛的应用,随着液氢,液氦无损贮存和高温超导器件的发展,其未来的应用前景会更加广阔。国内外对于G-M型脉冲管制冷机的理论以及实验研究已有很多,研究者提出了很多优化性能的手段,单级机型最低温度已经接近到10K。但是迄今为止,很少有学
为了扩展在潮湿大气条件下的应用,本文利用反应溅射方法和共溅射方法制备了WS2/MoS2/C复合薄膜,并在相同条件下制备了纯MoS2薄膜作为对照。对薄膜的组织结构、化学成分以及形貌进行了研究分析,同时还对薄膜的硬度、结合力、摩擦学性能进行了相关测试。采用反应溅射方法,通过在溅射气氛中添加乙炔气体,制备了WS2/MoS2/C复合润滑薄膜,通过XRD、EDX、FESEM对薄膜的成分和结构进行了分析,并采
随着遥感技术的发展,经过常年的观测以及相关机构间的信息共享,现在已经积累了海量的多时期的遥感影像。人们利用相关的技术手段,可以从遥感影像上解译出丰富的大量信息。但是现在从遥感影像上提取信息的速度远跟不上获取遥感影像的速度。信息提取的能力与效率已成为限制遥感应用发展的瓶颈问题。直至目前为止,人们为了获取比较准确的信息,大多数还是采用人工或者人机交互的方式来提取信息。目前计算机自动解译的精度还不能普遍
在漫长的人类设计史中,工业设计为人类创造了现代生活方式和生活环境的同时,也在不断地影响着自然环境,生态危机的爆发已经严重危害到人类的生存环境和健康安全,为了应对“能源危机”实现可持续发展“绿色设计”的概念被提出,之后随着“低碳”一词的风行,“低碳设计”又成为了一种新的设计风潮,有人说“低碳设计”实际上就是为了顺应时尚的潮流对“绿色设计”的一种新提法,那么“绿色设计”和“低碳设计”是一个概念吗?究竟
由于Zn2+掺杂和Ni2+掺杂的铁氧体薄膜具有高的阻抗和高的电磁波渗透,被越来越多的应用在微感应器,磁记录和高频场等领域,例如在电子线路上覆盖一层NiZn铁氧体薄膜,这层磁性薄膜便会对电流有额外的阻抗补偿,从而削弱传导电磁噪声：Fujiwara等人把Zn2+离子掺杂到ZnxFe3-xO4薄膜中,薄膜在几百兆赫兹范围内具有高的磁导率实部(μ′)和虚部(μ′),从而使这些薄膜在高频场具有较高的应用价值