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六角DO19型的Mn3Ga合金中存在着Mn-kagome晶格,可以产生大的反常或拓扑霍尔效应,可应用在反铁磁自旋电子器件中;四方DO22型Mn3Ga具有高垂直各向异性和高自旋极化率,可应用在磁存储技术中;因此,Mn3Ga合金引起了研究者们的兴趣。本论文以Mn3Ga合金薄膜为主要研究对象,对不同相结构的Mn3Ga薄膜进行了磁性能和输运性能的测量,结合表面形貌和结构成分的表征,对实验结果进行了解释分析。根据合金薄膜不同的生长工艺,本论文分为两大部分:第一部分是对不同生长工艺的Mn3Ga薄膜进行了研究。首