【摘 要】
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本论文采用13.56MHz射频电源，平行板式聚合装置进行等离子体聚合。利用朗缪探针测量手段详细研究了等离子体宏观参数与电子温度和电子密度的关系。利用接触角测定仪、表面张力仪、台阶仪、傅立叶变换红外光谱（FTIR）、X射线光电子能谱和电子扫描显微镜（SEM）等多种手段研究了薄膜的组成和结构。论文的研究内容主要分三部分：第一部分主要叙述了射频自偏压的产生，探索了射频功率、工作压强和气体种类与射频自偏压
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本论文采用13.56MHz射频电源，平行板式聚合装置进行等离子体聚合。利用朗缪探针测量手段详细研究了等离子体宏观参数与电子温度和电子密度的关系。利用接触角测定仪、表面张力仪、台阶仪、傅立叶变换红外光谱（FTIR）、X射线光电子能谱和电子扫描显微镜（SEM）等多种手段研究了薄膜的组成和结构。论文的研究内容主要分三部分：第一部分主要叙述了射频自偏压的产生，探索了射频功率、工作压强和气体种类与射频自偏压的关系。第二部分叙述了以射频自偏压为主要控制参量，研究了射频自偏压对薄膜的性能和结
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