本文研究的内容是精密调平调心平台,随着现代制造业向高精度、高效率、高可靠性等方向的发展,能够提高被测工件对准精度和速度的精密调平调心装置在测量领域应用越来越广泛。自动精密调平调心平台能够节省大量的测前准备时间,对提高测量效率起到非常重要的作用。因次,有必要开展精密调平调心装置的理论和技术研究。本文基于柔性铰链导向机构实现了正交二维调平机构的一体化设计,将平行四边形柔性导向机构进行嵌套实现二维平动调心功能。分析了常见的几种柔性铰链性能特点,推导出其刚度公式。给出了角度调节的具体操作过程,计算了偏转角度与驱动进给位移的关系,加工了调平调心平台样机。实验操作显示该平台具有结构简单、刚度大、无噪声、调节柔和、成本低等优点,任意轴的蠕变量小于0.4μm。在手动精密调平调心平台设计的基础上,设计了自动精密调平调心平台,自动平台采用电机与凸轮机构相结合的设计方案,突出结构的紧凑性和可靠性,并给出了系统的控制方案。