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随着集成电路技术与MOEMS技术的发展,各类检测仪器更趋向于多样化、微型化、智能化。光扫描微镜是众多微光学仪器系统的核心元件,可促进各光学系统微型化,被广泛地应用于光谱仪、医学影像等设备中。各光学系统也对扫描微镜提出了各式不同的要求,其中不乏要求有大的扫描范围,例如傅立叶变换光谱仪和视网膜扫描成像用的光学相干断层扫描分别要求垂直大扫描位移和二维大角度的扫描镜。在微型扫描镜中,电热驱动型微动镜具有扫描范围大、驱动电压低、可线性驱动等优点,比其它几类(静电型、压电型、电磁型等)微动镜更具发展空间。然而,