光化学加工是一种精密的表面加工技术,在许多精细加工过程中获得应用.该文对光化学刻蚀技术在特种材料(碳化钨硬质合金)精细加工方面的应用,进行了深入研究.议事研究了感光树脂的光化学反应因素,运用高分子改性的方法,研制出综合性能优异的环氧-聚丙烯酸酯型光致抗蚀剂,解决了普通的光致抗蚀剂不能用于碳化钨硬质合金进行光化学精细加工的难题.经实验摸索,发现了一种新型高效的促进剂CJ-2,它的加入能明显地加快腐蚀速度、提高腐蚀效果,以此为基础,研制出适合碳化钨硬质合金光化学精细加工要求的腐蚀剂,探讨了WC的腐蚀机理,掌握了WC化学腐蚀的规律,分析了它的影响因素,测定出碳化钨硬质合金的腐蚀因子,研究的影响光化学刻蚀的因素,制定出满意的光化学刻蚀工艺,解决了工艺过程中出现的诸多问题.