【摘 要】
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随着MEMS惯性器件技术的不断进步,MEMS惯性器件在军事领域和民用领域的应用越来越广泛。MEMS惯性器件在器件尺寸、功耗、稳定性以及环境适应性等方面具备优势,并随着设计方法
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随着MEMS惯性器件技术的不断进步,MEMS惯性器件在军事领域和民用领域的应用越来越广泛。MEMS惯性器件在器件尺寸、功耗、稳定性以及环境适应性等方面具备优势,并随着设计方法、MEMS器件结构以及集成电路技术的提高,MEMS惯性器件的精度同样能够得到提高。本论文所设计的闭环加速度计采用静电力平衡的方式。为了能够进行完整的系统仿真,本论文提出了从电路工程师的角度建立机械模型的方法,同时对闭环加速度计进行系统建模,从而完成对该加速度计的稳定性分析。本论文还提出了自动消除由于机械部分等效的基础电容与电路内部类比电容的不匹配所导致增益偏差的方法。本论文中的电路采用0.6um Bi-CMOS工艺完成,开环工作的系统带宽为1KHz,系统增益为2.0V/pF,输出信噪比80dB,闭环状态下系统带宽和电路增益与机械部分相关,输出信噪比优于80dB。最终的测试结果表明在闭环状态下输出信噪比优于80dB。
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