CMOS图像传感器像素光敏器件研究

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近年来,随着半导体技术的快速发展,其工艺水平得到了很大的提高,由亚微米工艺向深亚微米工艺扩展,CMOS图像传感器也得到了飞速的进步,CMOS图像传感器是大规模数模混合集成电路,它可以将A/D转换器,数字信号处理和时间控制电路集成在一个芯片上,功能完善。并且,今后CMOS图像传感器还会向具有更优成像性能,低噪、无图像拖影、更快读出速度的方向继续发展。在一些方面的应用,由于CMOS图像传感器与CCD图像传感器相比具有低成本、低功耗、工艺较易等优势而更受到社会市场的青睐,广泛应用于各种电子产品、多媒体应用、医学、太空探索、3D、汽车应用等方面。可见,CMOS图像传感器的发展前景是十分乐观的。因此,对于CMOS图像传感器的研究具有非常重要的意义。本文介绍了CMOS图像传感器的发展与现状以及在当今社会中的应用,分析了CMOS图像传感器的工作原理、光电转换理论以及CMOS图像传感器的各种性能参数,并且对4T CMOS图像传感器像素主要部分的设计进行了详细的说明。同时,对于4T有源像素图像拖影进行了研究,对像素进行优化,减小其图像拖影现象。而且,本文还对CMOS图像传感器像素感光区势阱容量及像素区域的隔离结构进行研究,研究一种垂直多结结构可以有效的增加像素感光区域的势阱容量。并且对像素区域隔离结构进行研究,改进了一种具有空气间隙层的浅槽隔离结构形成方法。
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