【摘 要】
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随着航天等国家重要科技工程的开展，随之对大口径光学材料的均匀性，高精度测量需求也更为迫切。但对不能投射可见光的一些光学材料，如Ge、Si、PbS等红外光学材料，现有的激光干涉仪就无法进行测量。而这些红外材料在光电子精密装备、红外相机、大型激光器窗口、半导体硅片等红外高精尖设备中应用还相当广泛。由于以上背景原因，论文通过模拟仿真的方法，对MEMS扫描红外激光外差干涉仪测量精度的一些关键性问题进行深入
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随着航天等国家重要科技工程的开展，随之对大口径光学材料的均匀性，高精度测量需求也更为迫切。但对不能投射可见光的一些光学材料，如Ge、Si、PbS等红外光学材料，现有的激光干涉仪就无法进行测量。而这些红外材料在光电子精密装备、红外相机、大型激光器窗口、半导体硅片等红外高精尖设备中应用还相当广泛。由于以上背景原因，论文通过模拟仿真的方法，对MEMS扫描红外激光外差干涉仪测量精度的一些关键性问题进行深入研究。为了应对干涉仪对数据处理的需要，论文的研究重点在于高精度数据处理算法。算法用来提取相位差信息，进一
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