RF-PECVD制备非晶硅膜及HIT太阳电池的研究

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【摘要】

：

研究开发低价,稳定,高效的的太阳电池是一项长期而艰巨的任务。而非晶硅/单晶硅异质结太阳电池既利用了低温的薄膜沉积工艺,又发挥了晶体硅高迁移率的优势,同时制备工艺简单,具有实现高效率、低成本硅太阳能电池的发展目标和产业化前景。射频RF-PECVD技术由来已久,对于非晶硅而言是一种成熟的制备技术。它具有可大面积沉积、成膜均匀、可实现低温生长、可沉积在廉价的柔性衬底上、容易实现掺杂等优点。围绕上述研究方

【作者】

：

王敏花

【机构】

：

河北工业大学

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

氢化非晶硅射频等离子体增强化学气相沉积太阳能电池

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