电液动力喷印技术的实验研究

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在微电子、微机电系统(MEMS)的制作领域,微米结构或图案的产生是一项极为关键的技术。高精度微米结构的喷印技术可实现功能材料、高分子、生物样品等精细图形喷印,具有广阔的市场前景。虽然改装市场主流的打印机在喷印功能陶瓷、电子元器件、生物组织工程等特殊领域的应用取得了很好的结果,但是,传统的喷墨打印机自身的缺陷和对墨水的严格要求限制了它们在特殊领域的发展空间。为克服现有打印方式存在的缺陷,本文研究并搭建了基于电液动力学原理的喷墨打印系统,考察了喷印参数的变化对喷印液滴的影响,具体工作包括以下几部分:(1)在查阅和分析大量相关文献资料的基础上,研究了一种基于电液动力学原理的按需喷墨打印技术,自主设计搭建了电液动力耦合喷印实验系统。(2)利用光学显微装置观察电液动力耦合下喷嘴悬滴的状态变化及在高压电场作用下液滴喷印的过程。通过改变喷印距离时,观察到两种喷印模式,即滴落模式、锥-射流模式;同时,根据实验过程及结果分析了两种喷印方式产生的原因。(3)实验考察了喷印参数的变化对喷印液滴的影响,结果表明滴落模式中喷印液滴的直径随着脉冲电压幅值的增大而减小,同时,喷印液滴的直径随着脉冲频率的增大而减小。液滴的均匀性随着平均直径的减小而变差。在相同的实验条件下,硅、铝、铜及纸四种材质上的喷印效果不同,在硅片上液滴均匀但直径较大,在纸张上液滴散乱。(4)锥-射流模式中喷印液滴的直径随着脉冲电压幅值、喷印溶液浓度及脉冲频率占空比的增大而增大,液滴的直径随着脉冲频率的增大而减小。同时,采用CFDFluent仿真不同接触角时液滴在收集板上的沉积过程,并考察了不同接触角的收集板上液滴直径的变化规律。(5)运用ANSYS分析软件对不同参数下的实验装置进行电场分析,采用数值计算的方法进行针状-平板电极电场计算。
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