空间科学因其科学前沿性和技术带动性,历来是航天活动的主要领域之一,是各国政府和人民关注的焦点。对极端宇宙的探测是天文学和物理学共同的前沿,通过火箭和卫星等空间载体搭载的望远镜可以对宇宙中的各种射线进行探测,但是由于其暴露在宇宙环境中,其光学结构在受到宇宙射线、可见以及红外光等杂散光的辐照时,会发生热形变,影响探测精度,因此,需要在望远镜光路中增加一层能透过所需波长,同时阻止杂散光的滤光片,来避免望远镜结构的热形变,从而提高探测精度。本文主要开展了极紫外滤光片的制备,以及滤光片性能表征方面的研究工作。具体研究工作如下:1)首先,通过文献调研,阐述了国内外极紫外滤光片和自支撑薄膜的研究现状,指出其中存在的不足,并结合自支撑薄膜的制备方法,制定出极紫外滤光片制备方案。然后,选择洗衣液、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、蔗糖、硬脂酸钠、Na Cl、聚乙烯醇、聚酰胺酸和AZ50XT光刻胶作为脱膜剂材料,将它们涂覆在Si基片上制备脱膜层,通过显微镜观察脱膜层表面粗糙度、缺陷程度。最后,使用磁控溅射镀膜机在不同材料的脱膜层表面沉积不同厚度的Al薄膜,沉积完成后,经过粘附镍框、脱膜等步骤,将Al膜从基底上剥离,最终制备出极紫外滤光片。2)完成极紫外滤光片的制备后,使用台阶仪对滤光片厚度进行标定,验证滤光片厚度是否与实验要求一致;使用扫描电镜对滤光片表面缺陷进行观察;采用CMOS相机捕捉滤光片表面针孔情况,观察针孔大小和密度;使用紫外-可见分光光度计和同步辐射装置对滤光片的光学性能进行表征。实验结果表明,滤光片厚度与实验要求基本一致,表面颗粒分布均匀,没有明显的微缺陷,用AZ50XT光刻胶制备的滤光片针孔最少,甚至能够做出无针孔的滤光片,不同脱膜剂制备的Al滤光片在紫外、可见及红外光波段的透过率低于0.02%,基本满足应用要求,AZ50XT光刻胶脱膜剂制备的80 nm Al滤光片在极紫外波段的透过率为53%,达到了实验预期的要求,但是与理论值相比存在较大差异,这主要由Al滤光片表面的氧化和脱膜剂的残留所引起。