发射光谱仪是成分检测分析的重要仪器之一，而激发源是发射光谱仪检测分析的重要组成部分。目前激发源微型化成为光谱仪微型化的关键所在。微型电感耦合等离子体（ICP, Inductively Coupled Plasma）激发源是一种处于研究阶段的新型低气压放电激发源，与传统的常压ICP激发源相比，其功耗、氩气消耗量、体积、重量均大幅度降低，且成本低、便于批量生产。微型电感耦合等离子体激发源有望成为新的光谱仪激发源。关于微型ICP激发源性能测试以及仿真理论的研究报道较少，对其激发检测气体样品特性进行研究是有意义的。本工作在搭建微型ICP激发源测试系统平台的基础上，激发测试气体样品，主要包括氩气、氩甲烷、乙炔、氟利昂等样品，对激发结果进行了分析。根据激发样品的测试数据计算了等离子体阻抗参数，评价微型激发源的激发性能及适用范围。其次按照微型ICP激发源的原理以及激发源放电室的结构等依据建立了理论模型，探索微型ICP等离子体激发源用于光谱仪的实际激发性能和适合分析的样品种类，分别做了定性分析以及初步定量分析。研究的微型ICP激发源的起燃功率可降至3~5W（常规ICP激发源600~1200W）、频率由微波段降至射频段、体积减至数百分之一，微型化、节能降耗效果显著。随着研究的深入，微型等离子体激发源可能会成为光谱仪、质谱仪等分析检测仪器的一种新型激发源，并用于微型化分析测试仪器中，具有广阔的应用前景。