论文部分内容阅读
应用于Si基器件的表面应力调制结构
【摘 要】
：
当芯片特征尺寸进入深亚微米后,一些特定的小尺寸制造工艺会往器件沟道区引入应力,这会对器件性能产生影响。因此,在小尺寸下如何有效调制器件沟道区应力将显得尤为重要。通过对器件沟道区应力的调制使得器件性能可以更为灵活的被调控,从而以满足特定的需求。本文结合目前主要的槽形应力调制技术,将其应用在两种不同类型的器件,研究其对器件力学特性及电学特性的影响。首先,针对小尺寸器件下为降低源漏接触电阻而采用NiSi
【机 构】
：
电子科技大学
【出 处】
：
电子科技大学
【发表日期】
：
2019年12期
其他文献
随着日常生活对多媒体通信需求的增长,视频通信也成为课题研究的热点。在2002年我国成立了数字音视频编解码技术标准工作组,简称AVS工作组。工作组制定了数字音视频编解码技
对于各类院校的理工科类专业，实验教学环节是高等教育中十分重要的。传统的实验方式存在着许多缺陷，比如:仪器本身体积大、占地面积多，需要耗费大量资金保修;实验设备及方法跟不
基因组测序计划给我们提供了前所未有的海量序列数据。这为从分子水平研究后生动物的早期进化(从多细胞化到三胚层动物的大规模适应辐射)提供了很有利的条件。为了尽可能地从
当前，由于电力电子技术的高速发展和广泛应用，使得电网中存在大量的谐波，给电网造成了大量的污染，同时消耗了大量的无功功率，给电力系统和用户带来了严重的危害。有源电力滤波器兼具着补偿谐波和无功电流功能，同时具有较好的动态性能与实时性，近年来受到了越来越广泛的关注。针对目前三相四线制电力系统中日益严重的谐波污染与无功功率增大这两方面问题，本文以三相四线制电力系统谐波和无功补偿为出发点进行研究。首先，介绍
我国东北辽宁省西部和内蒙古自治区东部具有丰富的化石资源。该地区陆相地层发育完好，是世界上中生代陆相地层研究的经典地区之一，主要的陆生化石主要采自中侏罗世的九龙山组和
研究了甘蓝、番茄不同间作比例对甘蓝生长及主要害虫种群数量的影响,以期找到适宜的间作比例,为生产实践中进一步推广应用提供理论依据.试验结果表明,甘蓝与番茄间作模式,对