绿色是当前经济发展的主旋律。在十九大上党中央明确提出,要坚定不渝的贯彻可持续发展理念,大力发展经济的同时保护生态环境,实现经济高质量发展。十九大报告指出,创新是引领高质量发展的第一要义,是促进绿色经济发展的关键。推动绿色发展,提高绿色全要素生产率成为经济发展的重要任务和目标。工业经济是我国改革开放以来经济腾飞的“助推器”,工业集聚通过集聚效应和拥挤效应影响着我国工业绿色全要素生产率和经济高质量发展水平的提升。其中,工业集聚可以通过引发资源共享效应、竞争效应和扩散效应影响技术创新水平提升,进而影响着绿色全要素生产率。因此,在工业集聚影响绿色全要素生产率的作用过程和机制中,存在着技术创新的中介传导作用和机制。基于此,本文将技术创新纳入研究框架,考察技术创新在工业集聚影响绿色全要素生产率过程中的中介效应和机制,并探讨不同技术创新来源与行业异质性的不同效应,以丰富工业集聚、技术创新和绿色全要素生产率的理论和实证研究,为推动绿色与高质量发展提供决策支撑。基于以上背景和思路,本文利用EG指数和EBM-GML模型分别测算了2006-2016年中国20个工业行业集聚水平和绿色全要素生产率,并对工业集聚指数和绿色全要素生产率指数进行描述性分析和解释。在此基础上,构建工业集聚和绿色全要素生产率的回归方程,利用广义最小二乘法（FGLS）探究工业集聚对绿色全要素生产率的影响和作用,并讨论行业异质性。进一步的,将技术创新作为中介变量构建中介模型,并按来源方式将技术创新分为自主创新、技术引进及政府支持,探讨不同来源方式的技术创新在异质性行业集聚与绿色全要素生产率关系中的中介效应差异。实证结果发现:（1）工业集聚与绿色全要素生产率之间存在倒“U”型关系,即存在“先扬后抑”效应;考虑行业异质性,技术密集型和劳动密集型工业行业集聚与绿色全要素生产率之间存在倒“U”型关系;资源密集型工业行业集聚与绿色全要素生产率之间不存在非线性关系。在研究期内,工业整体集聚水平未超过拐点,工业的集聚效应发挥着主导作用,对绿色全要素生产率的提升具有促进作用;技术密集型和劳动密集型工业行业集聚平均水平亦未超过拐点,对绿色全要素生产率提升也呈现出促进作用。（2）研究时间段内,我国工业绿色全要素生产率呈现增长态势,并且绿色全要素生产率和绿色技术进步呈现出技术密集型工业行业的水平最高,资源密集型工业行业的水平最低的行业异质性。同时,研究发现技术进步是影响工业全行业绿色全要素生产率的主要原因,在技术密集型、劳动密集型和资源密集型工业分行业层面也支持这一结论。（3）考虑技术创新来源的中介效应:就自主创新而言,在技术密集型、劳动密集型和资源密集型工业行业中,均存在中介效应,占比分别为15.6%、8.4%、4.6%,即集聚通过促进自主创新间接促进了绿色全要素生产率提升;就技术引进而言,仅在技术密集型工业行业中存在中介效应,占比为0.7%,即该类行业集聚可以通过促进技术引进间接促进绿色全要素生产率提升;就政府支持而言,仅在资源密集型工业行业中存在中介效应,占比为11.5%,即该类行业集聚可以通过促进政府支持间接促进绿色全要素生产率提升。根据上述结论,得出以下政策启示:引导工业适度集聚,避免过度集聚,发挥集聚正外部性,以实现有效的集聚,达到集聚的经济绩效和环保绩效的双赢;转变绿色发展理念和发展方式,强化创新驱动机制,提升自主创新能力,充分发挥工业集聚中的技术创新的中介效应和机制,提升绿色全要素生产率;重视不同工业行业集聚中技术创新路径的选择,根据工业行业自身特点“因地制宜”的选择合适的技术创新路径,以达到创新投入的效用最大化。