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振动、温度和污染构成了超精密加工的三个主要影响因素。振动在加工领域几乎无处不在。尤其在高速高精加工场合，振动更是成为了影响系统加工精度的主要因素。传统的被动减振方法对于频率低于或者等于系统固有频率的振动干扰并没有什么太好的减振效果，而且由于被动减振系统中结构参数的固定，其对于复杂随机变化的振动干扰很难有很好的减振效果。为此我们研究了主动减振系统。本文中主动减振系统是在被动减振系统的基础之上增加音圈电机作动器，利用加速度传感器测量减振对象的振动信号，经过分析和处理之后，输入到控制器当中