【摘 要】
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整篇论文是建立在横向电场和纵向电场的二维解析模型的基础上的.在电场建模过程中,认真考虑了电场的横向分量和纵向分量的相互调制作用,从而获得二维电场的解析模型,这是该论
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整篇论文是建立在横向电场和纵向电场的二维解析模型的基础上的.在电场建模过程中,认真考虑了电场的横向分量和纵向分量的相互调制作用,从而获得二维电场的解析模型,这是该论文的一个创新之处,而现有的电场解析分布模型都是准二维电场分布建模,即没有考虑电场两个分量的相互调制作用.在电场建模过程中电场横向分量的解析模型是通过利用高斯定理并在靠近漏结的地方建立两个高斯盒的方法来获得的,而电场纵向分量的解析模型则采用与MINIMOS器件模拟器的模拟结果相拟合的方法来获得.在二维电场解析模型的基础上,从流函数方程出发获得了二维电流密度J<,nx>(x,y)的解析分布模型.最后,利用"幸运电子"的概念,通过前面获得的二维电流密度分布模型,求得深亚微米MOSFET发射电流和栅电流的二维分布模型.
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