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铝、镁合金因为其具有低密度,高比强度、比刚度及机械加工性能好等优点,是目前世界上应用非常广泛的金属材料。但其化学性质活泼,耐蚀性差,限制了其使用寿命以及在军工、航天航空等领域的应用。微弧氧化(MAO)技术是在铝、镁合金表面原位生长一层陶瓷膜,能够显著提高合金的耐蚀性。但MAO层不可避免的疏松多孔形貌,为腐蚀介质提供反应通道,进而限制合金耐蚀性的进一步提高。ZrO2溶胶凝胶法中前驱体溶液具有良好的流动性、渗透性及成膜性被广泛应用于MAO层封孔。传统的凝胶膜形成于高温条件下,浪费资源且不能得到致密的封孔膜。本文采用独特的低温深紫外辐照(DUV)技术,对制备致密均匀的ZrO2封孔层进行研究。通过对比不同热处理温度,以及不同DUV时间获得的ZrO2/MAO/合金复合膜层耐蚀性强弱,获得最佳的膜层制备工艺。同时通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外吸收光谱(UV-vis)、红外吸收光谱(FT-IR)、X射线光电子衍射(XPS)等表征手段对不同工艺制备的ZrO2封孔层进行成膜机理探究。得到如下的结论:(1)ZrO2封孔层均有效封闭铝、镁合金MAO层的孔洞,提高合金样品的耐蚀性。(2)对铝合金MAO层进行封孔处理时,热处理温度从100℃升高到300℃,ZrO2封孔膜层更加平坦和致密,但有机物快速挥发,膜层开裂严重,导致耐蚀性下降。100℃加入DUV,光化学反应生成的强氧化剂O3和活性物质O*将有机物氧化成小分子气体缓慢放出,从而获得致密均匀的ZrO2层,耐蚀性显著增强。(3)对镁合金MAO层进行封孔处理发现,热处理温度从100℃升高到275℃,膜层致密性增加,耐蚀性增强。继续升高温度至425℃,耐蚀性下降,主要因为高温膜层开裂,致使电解质溶液及O2渗入发生电化学反应。100℃引入DUV辐照时发现,紫外时间较长,封孔层越致密均匀,样品耐蚀性越高。