氮化铝薄膜MEMS压电超声换能器设计及应用

被引量 : 0次 | 上传用户：houlitao2009

【摘要】

：

本文主要进行了基于AlN(氮化铝)薄膜MEMS压电超声换能器(Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducer,PMUT)的设计和应用。微机械超声换能器正处于高速发展的阶段,在智能电子,人机交互等领域展现出巨大的应用潜力。课题主要目的在于建立起基于AlN薄膜PMUT的设计,加工,测试,应用能力。在对PMUT进行压电材料选择,尺寸设计,器件加工和机

【作者】

：

刘鑫鑫

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2019年05期

【关键词】

：

压电超声换能器氮化铝薄膜振荡抑制逻辑门运算

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