脉冲激光沉积法制备钛酸锶钡复合物薄膜及其介电性能的研究

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【摘要】

：

钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3,BST)是铁电材料体系中有着优良介电性能的一种材料,其介电常数高、介电损耗小、热释电系数高、介电可调谐性好、居里温度可随Ba/Sr比值的变化而改变等特点,而被广泛应用于可调谐微波器件、红外热成像探测器、动态随机存储器、雷达移相器等领域。随着微电子技术的发展以及薄膜制备工艺的不断提高,体积小且高度集成的微型器件开始受到人们的广泛关注,BST薄膜器件因其优

【作者】

：

马宝刚

【机构】

：

河南大学

【发表日期】

：

2016年06期

【关键词】

：

钛酸锶钡铌酸铋镁 PLD 介电性能

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