射频电源作为激光的功率来源,是激光器的一个重要组成部分。本文旨在开发高功率CO₂激光器的射频电源系统,重点对振荡和功放电路、阻抗匹配及功率控制等关键技术进行了研究,并从理论和制作工艺两个方面完成了射频电源的理论分析和设计。论文的主要内容包括:（1）结合激光器对射频电源的技术要求,确定了射频电源的系统结构,并采用了自激式射频电源的设计方案。（2）在自激式射频电源总体结构的框架下,进行了射频电源的电路设计,重点分析了振荡和功放电路、阻抗匹配网络及功率控制电路的工作原理。在振荡和功放电路部分,详细计算了回路元件参数和电子管的工作参数。在阻抗匹配部分,根据传输功率最大化的原则,确定了共轭阻抗匹配的设计方案,并给出了匹配设计的一般方法。在功率控制部分,采用了脉宽调制（PWM）方式,实现了脉冲和连续方式下,脉冲频率和激光功率的实时控制。（3）在电源的工艺设计方面,分析了电路元件选择、元件排列布置、布线和焊接的基本原则和具体方法。同时,根据射频电路发热量大和易受干扰的特点,采取了相应的措施加强系统散热和抑制噪声、干扰。本文通过对高功率射频电源的研究,完成了电源的理论分析和工艺设计,为高功率射频激光器的研制提供了有益的技术探索。