三烷氧基硅烷既有不稳定的Si-OCH₃键，又有活泼的Si-H键，能通过一系列反应如加成、聚合等反应，得到各种有机硅化合物。它是一种重要的有机硅中间体，以它为原料生产的硅烷偶联剂，广泛应用于涂料、电子等工业中。在工业上，三烷氧基硅烷是由三氯硅烷和低级醇反应而得，该反应工艺复杂，收率低，反应过程中伴有大量的氯化氢气体产生，腐蚀设备，污染环境。而直接法是在铜催化剂及高沸点有机介质作用下，由硅粉与甲醇或乙醇反应得到目的产物。此合成工艺具有工艺简单，操作方便，没有污染的优点。目前，在国内外，掌握直接法合成三烷氧基硅烷的生产技术还只有极少数厂家。 本论文系统研究了在铜催化剂及高沸点有机介质作用下，由硅粉和低级醇（甲醇或乙醇）直接合成三烷氧基硅烷，取得了包括反应温度，催化剂种类及用量，进样速度等反应条件的优化参数，同时，在实验中首次发现，在反应前，将硅粉和Cu₂Cl₂用微波进行预处理，可得到高活性的硅铜合金，反应活性成倍增加，并用SEM及XRD技术对硅铜合金进行表征，进一步认识微波预处理影响反应活性的深层原因。对微波处理功率，处理时间，处理方式等微波预处理条件进行系统的比较。在氢气或氮气保护下，微波高火处理3分钟，并在处理后的硅铜触体中加入小量Cu₂O，在220℃下合成三烷氧基硅烷，反应馏出液中三烷氧基烷的百分含量达57％，而甲醇含量只有30.7％。 本论文还采用新的合成工艺串联反应合成三甲氧基硅烷，反应馏出液中甲醇的含量下降到4.5％。三甲氧基硅烷的含量达80.2％，降低了反应馏出液中甲醇的含量，简化了粗产物的分离提纯工作。并以合成三甲氧基硅烷的反应条件合成三乙氧基硅烷，其中，三乙氧基硅烷的产率达68.8％，乙醇的含量只有17.0％。还对三甲氧基硅烷应用进行了初步的探讨。