近年来，集微光学、微电子、微机械装置于一体的MEMS和MOEMS技术迅猛发展，推动了微细加工技术的不断改进和提高，其中激光直写光刻技术因其控制灵活，不需要掩模，加工周期短，加工精度高，受到越来越多的关注。本论文研制了一套高精度激光直写光刻系统，它采用带17位增量式编码器的松下MINAS A系列交流伺服马达，同时还采用基于高精密滚珠丝杆和超精密线性滑轨导向的X-Y运动平台，可以实现约30nm的运动控制灵敏度。论文针对该系统开发了一套基于ISA总线的三维运动控制卡，它采用8253计数器来控制马达运行速度和行程，同时采用8255接口芯片来控制马达运行方向，实现马达限位保护。进一步论文采用PCI9052芯片实现了三维运动控制卡从ISA总线到PCI总线的升级。软件方面，在Visual C++开发环境下开发了控制软件界面，实现了直线和曲线运动控制，进一步还采用WinDriver开发了PCI设备驱动程序以及相关应用程序。通过感光胶片和SU-8光刻胶的光刻实验，表明上述激光直写光刻系统完全能够满足光刻精度的要求，并且具有控制简单，行程轨迹精确、响应速度快、性能稳定等特点，适用于许多微光学器件加工领域。