近年来,太赫兹技术在安检、医疗、无损检测、层析成像等多个领域得到了快速发展,但是缺乏合适的计量手段对太赫兹阵列探测器进行性能校准仍是限制其进步的关键性因素。太赫兹阵列探测器较之传统的单像元探测器具有巨大的优势,可以实现直接、快速、实时的太赫兹成像。因此,太赫兹阵列探测器相关参数的量值溯源也日益迫切。本文以太赫兹功率计作为计量标准,研究了太赫兹阵列探测器响应度及相关参数的校准方法。主要研究内容如下:（1）研究太赫兹阵列探测器的响应度及其相关参数校准方法。通过对现有红外焦平面阵列标定方法进行分析的基础上,将溯源至激光功率基准的太赫兹功率计作为标准太赫兹探测器,提出以替代法为基础对场效应自混频太赫兹阵列探测器进行校准的方案。另外,对该太赫兹功率计的吸收涂层进行仿真,并且根据仿真结果以达到涂层优化的目的,实现了所需校准的太赫兹阵列探测器的量值溯源。（2）搭建太赫兹阵列探测器校准装置。通过设计响应度及相关参数校准光路,改善了修正光源不稳定性和背景噪声所产生影响。同时,研制二维定位全闭环控制与数据采集系统,实现了可根据实验需求更换扫描方式的自动化数据扫描的功能,解决了太赫兹阵列探测器绝对响应度校准的问题。（3）进行校准实验并完成测量结果的不确定度分析。开展场效应自混频太赫兹阵列探测器响应度及相关参数的校准实验,并对所校准的响应度的结果进行不确定度分析,得到了太赫兹阵列探测器的响应度为89.46 k V/W,相对扩展不确定度为6.58%（k=2）。